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不是所有的匀胶机都叫旋涂仪的!

来源: 国产划片机 宣布时间:2021-03-05

  匀胶机顾名思义,一种可以“让胶液均匀涂敷的机械”。MYCRO的WS-650S所有数据结果都可以通过电脑输出并予以生存。完成从纯粹旋转机械到旋涂仪器的升级。


  匀胶机是一种常见用于质料薄膜制备工艺的实验室设备,它的原理相比照较简单,利用电机高速旋转时所爆发的离心力使得试液或者胶液均匀地涂敷在基底质料的外貌,顾名思义,一种可以“让胶液均匀涂敷的机械”。


  匀胶机有许多称呼,匀胶台,旋转涂膜机,旋转涂层机或者旋转涂敷机等等,它的英文是 Spin Coater(旋转涂膜的意思)。


  匀胶机既然是科研开发上制备薄膜质料必备的要领之一,使用者关于该设备zui大的期待就在于其能够“均匀”地涂敷试液或者胶液。通常我们会用均一性和可重复性来权衡薄膜质料制备的优劣。


  海内外关于这种匀胶旋涂设备的生长泛起出很大的差别。中国海内zui先开展匀胶机研制的单位是中科院微电子所,推出的KW-4A型号的匀胶机,具有低速起步和高速旋转两个单位。


  外洋的高性能匀胶机zui早则集中在美国和德国。厥后随着半导体工业的生长,日韩等国家也开发出性价比较高的匀胶机械。


  日韩等国随着在半导体制程,LCD,TFT显示质料的研发制造等领域的生长占据先机,所开发的产品基本上集中于半导体湿制程系列工艺中的自动化控制系统,由于涉及到与其它工序的自动化集成的趋势,故产品价格高得也令人咂舌。目前美德诸多公司也放弃利润低下的单独功效的匀胶产品生长,全部集中于半导体整体工艺的解决计划提供。


  MYCRO美国产的匀胶设备WS-650MZ和WS-650HZ系列,除了关于转速的精密控制以外(转速规模50~12000转/分,区分率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,由美国NIST工业标准认证,无需再校准,加速度可达80000RPM/S,zui低则可达1RPM/S),加速时间可调规模1秒至99分59.9秒,zui小增加度0.1秒。


  MYCRO的WS-650MZ和WS-650HZ匀胶机还可以通过与电脑链接,以及随机附带的SPIN剖析软件,关于每次实验结果进行剖析调试,并挑选出zui佳的制备历程。所有数据结果都可以通过电脑输出并予以生存。完成从纯粹旋转机械到旋涂仪器的升级。


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